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![]() 7月11日,据“中国光谷”微信公众号音问,华工科技近期制造出了我国首台中枢部件100%国产化的高端晶圆激光切割蛊惑。 据华工激光半导体家具总监黄伟先容,半导体晶圆属于硬脆材料,在一个12英寸的晶圆上迥殊千颗致使数万颗芯片,晶圆切割和芯片折柳不管接纳机械或激光面孔,王人会因物资战争和高速通顺而产生热影响和崩边,从而影响芯片性能,因此,厌世热影响的扩散范围和崩边尺寸是要津。 而机械切割的热影响和崩边宽度约20微米,传统激光在10微米傍边;此外,切割线宽的减少,意味着晶圆能作念到更高的集成度,从而使得半导体制造更经济、更有恶果。 ![]() 自客岁以来,黄伟团队对半导体晶圆切割技能,伸开微纳米级激光加工的迭代升级、攻坚扯后腿,“最忙时团队20多东说念主两班倒范例作念测试现实和家具优化,蛊惑24小时继续。” 过程一年勤勉,华工科技制的半导体晶圆切割技能告捷竣事升级,热影响降为0,崩边尺寸降至5微米以内,切割线宽可作念到10微米以内。成为了我国首台中枢部件100%国产化的高端晶圆激光切割蛊惑,在半导体激光蛊惑范围攻克多项中国第一。 按照分娩一代、研发一代、储备一代的理念,华工激光正在研发具备行业最初水平的第三代半导体晶圆激光改质切割蛊惑,计划本年7月推出新家具,同期也正在开发我国自主学问产权的第三代半导体晶圆激光退火蛊惑。 良友显现,华工科技竖立于1999年,领有20000多平米的研发、中试基地,在外洋设有3个研发中心,与华中科技大学共建有激光加工国度工程商议中心、国度防伪工程商议中心、敏锐陶瓷国度要点现实室。通过产学研用纽带,华工科技牵头制定国度“863”计划技俩、国度科技撑执计划技俩、十三五国度紧要科技计划专项等50余项,牵头制定中国激光行业首个国际圭臬,取得国度科技跳动奖3项。 裁剪:芯智讯-林子 |